Руководитель лаборатории Перин Антон Сергеевич Кандидат технических наук, доцент
Год создания лаборатории:
Описание
Объектом исследования лаборатории является интегрально оптические волноводы и элементы ввода оптического излучения на основе тонкопленочных структур.
Лаборатория создана в рамках гранта Министерства науки и высшего образования Российской Федерации «Создание новых лабораторий, в том числе под руководством молодых перспективных исследователей» национального проекта «Наука и университеты».
Основным научным направлением лаборатории является исследование и разработка способов изготовления интегральных оптических волноводов и элементов на их основе:
- Исследование технологии, разработка конструкций и технологии изготовления пассивных оптических элементов тонкопленочной интегральной фотоники (волноводов, делителей, резонаторов, элементов ввода-вывода) на основе тонких пленок ниобата лития и структур Si3N4/SiO2 и AlGaAs/GaAs;
- Развитие принципов создания малоразмерных интегральных оптических систем, микро- и нанорезонаторов, элементов и устройств нанофотоники и плазмоники.
Продукция, производимая промышленностью, при производстве которой будет использован научный результат, достигаемый лабораторией:
- интегрально-оптические пассивные компоненты: разветвители, резонаторы, поляризационные делители, оптические фильтры и интерферометры;
- интегрально-оптические модуляторы;
- интегрально-оптические сенсорные системы.
Значимые результаты за период работы лаборатории
По итогам 2022 года предложены конфигурации и требуемые характеристики пассивных элементов, производство которых интересно в целях апробации разрабатываемой технологии.
Обозначены задачи численного моделирования для оптимизации структур на базе интегральных оптических волноводов. Обозначены ссылки на методики исследования интегральных оптических волноводов и пассивных элементов на их основе.
Получены результаты моделирования конструкций оптических волноводов и элементов ввода/вывода на основе тонких пленок Si3N4/SiO2. Для проведения дальнейших экспериментальных исследований и верификации разработанных моделей предложена к разработке вакуумная установка RF/DС магнетронного напыления для получения пленок ниобата лития с требуемыми характеристиками, а также напыления дополнительных слоев различных функциональных пленок (изоляторы, проводящие слои и т.д.) в едином процессе.
Сотрудничество с организациями реального сектора экономики
Промышленным партнером лаборатории является ООО «Т8»
