Автоматизированная система измерения шероховатости и профиля поверхности
Технология изготовления интегральных схем включает множество операций, направленных на формирование различного рисунка (функциональные слои) на основе тонких диэлектрических и металлических пленок. Межоперационный контроль толщин функциональных слоёв является неотъемлемой частью изготовления микросхем, от качества промежуточных тестовых точек зависит выход годных приборов. Для определения толщины напыляемых слоев или глубины травления полупроводниковой структуры, используется специальные профилометры. Отечественные аналоги оптических и стилусных профилометров отсутствуют. Разработка отечественного высокоточного измерительного прибора позволит поддержать предприятия микроэлектронной промышленности и даст толчок в развитии высокоточного измерительного оборудования. Цель проекта: разработка функциональных блоков и изготовление макета стилусного профилометра, получение зависимости конструктивных решений исполнительных узлов на разрешающую способность прибора, макет профилометра.