Вакуумный микрооптоэлектромеханический датчик давления для технологических процессов микроэлектронной промышленности
Настоящий проект направлен на разработку вакуумного датчика давления, обладающего расширенным диапазоном измерений и высокой точностью. Предполагаемая область применения разрабатываемого устройства – установки для технологических процессов изготовления микроэлектронной техники. Актуальность данного направления НИОКР подтверждается отсутствием на российском рынке подходящих датчиков давления, которые бы сочетали в едином устройстве те характеристики, которые необходимы для обеспечения требуемых параметров измерения. Единственный производитель вакуумных датчиков давления в России - ООО "Лаборатория вакуумных технологий плюс", который предлагает датчики давления тензорезистивного и магниторазрядного типов с различными диапазонами измерений, но обладающие довольно низкой точностью. Целью проекта является разработка оптомеханического датчика давления с чувствительной мембраной по технологиям МОЭМС (микро-опто-электромеханических систем), обладающего широким диапазоном измеряемых давлений, а также высокой точностью во всем диапазоне измерения. Задачи проекта: 1. Уточнение физических характеристик материалов, используемых в составе проектируемого датчика давления. 2. Разработка физической и математической моделей чувствительного элемента датчика. 3. Исследование и моделирование влияния внешних воздействий в рабочем режиме датчика. 4. Разработка и отладка технологического маршрута изготовления опытного образца. 5. Испытание опытного образца в эксплуатационных условиях.