Высокочувствительный микроэлектромеханический (МЭМС) резонансно-частотный датчик давления
Перекачка нефти и газа по трубопроводам и их переработка требует постоянного контроля давления в трубах и отслеживание перепадов давления. Для таких задач применяются датчики давления, принцип работы которых основывается на различных физических явлениях. Неприхотливость в эксплуатации и возможность контролировать с высокой точностью (погрешность менее 0,05%)перепады давления позволяет нефтегазовым компаниям сокращать издержки при транспортировке нефтепродуктов, а также повышать качество переработанных нефтепродуктов. На сегодняшний день, единственным датчиком давления, который имеет лучшие точностные характеристики на рынке, является датчик, основанный на резонансно-частотном принципе измерения. Проведя анализ единственного прямого конкурента, работающего на том же принципе измерения (Yokogawa) и ближайших аналогов, основанных на емкостных измерительных преобразователях было выявлено, что резонансно-частотные датчики давления уступают емкостным датчикам по чувствительности. В связи с чем ЦЕЛЬЮ проекта является разработка резонансно-частотного датчика давления с повышенной чувствительностью при сохранении точностных характеристик. Имеющийся задел наработок, как в технологическом плане, так и в исследовательском, показали десятикратное увеличение чувствительности сенсора датчика давления, что позволяет объединить в предлагаемом решении высокую чувствительность и точность и создать конкурентный и востребованный продукт. Основные задачи проекта заключаются в следующем: 1. Разработка и уточнение математической модели сенсора резонансно-частотного датчика давления. 2. Исследование зависимостей электромеханических характеристик сенсора от различных воздействий. 3. Разработка опытного образца и технологического процесса изготовления и сборки высокочувствительного сенсора резонансно-частотного датчика давления. 4. Исследование электромеханических характеристик опытного образца.